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本发明涉及一种晶圆缺陷检测系统，具体涉及一种在线光谱缺陷检测系统及其检测方法，包括暗场光源、待测件、物镜、筒镜和成像机构；还包括半反半透镜、扩束镜、二维振镜、准直透镜、二向色镜、激光光源和光学检测机构；半反半透镜可动的设置于物镜与筒镜之间，...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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