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本申请提供一种缺陷检测设备、方法及半导体外延设备，应用于半导体技术领域，该设备包括照明装置、检测装置以及控制器，控制器分别与照明装置以及检测装置通信连接，检测装置用于在预设检测位中存在待检外延晶圆时输出检测信号，控制器用于响应于检测信号控制...
该专利属于深圳市纳设智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市纳设智能装备有限公司授权不得商用。

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