下载掩模组件和包括掩模组件的沉积设备的技术资料

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提供了一种掩模组件和包括掩模组件的沉积设备,所述掩模组件包括:框架,包括框架开口;掩模,掩模设置在框架上,掩模包括沉积部、非沉积部和结合开口,沉积部包括与框架开口叠置的主沉积开口,非沉积部与沉积部相邻,结合开口形成在沉积部与非沉积部之间;以...
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