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本发明的示例性实施方案提供一种用于处理基板的装置及用于处理基板的方法。用于处理基板的装置包括：第一模块；以及处理模块，该处理模块配置为处理基板，并且该第一模块包括：装载端口，该装载端口上放置有容器，该容器具有容纳在其中的基板；传送单元，该传...
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