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本文中公开了一种用于检测样本上的缺陷的方法。所述方法包括以下步骤：获得多重视角中的样本的区域的扫描数据；以及执行对获得的扫描数据的整合分析。整合分析包括：基于获得的扫描数据来计算跨视角协方差，和/或估计跨视角协方差；以及在考虑到跨视角协方差...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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