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半导体结构的测试方法及应用其中的模具技术
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文档序号:38103777
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本公开是关于一种半导体结构的测试方法及应用其中的模具,涉及半导体技术领域,半导体结构的测试方法包括:提供待测晶圆;于待测晶圆上设置放热电路;于待测晶圆上覆盖热敏材料层,热敏材料层与放热电路接触,热敏材料层受热后显现区别于待测晶圆的色彩;导通...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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