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本发明提出一种光刻设备的传感器装置、制造方法与自校准方法，通过设计旋转光学模块安装穴、旋转光学模块、旋转调节控制和信号调理基板安装穴和旋转调节控制和信号调理基板等结构，降低了旋转光学模块安装穴的制造难度，同时提高了传感器装置对于不同部件装配...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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