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本申请公开了一种压电式MEMS传感器，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在衬底上方并且覆盖空腔；下电极层，形成在振动支撑层上方；压电层，形成在下电极层上方；上电极层，具有沟槽并且沟槽将上电极层分割成中心电极层和外环电极层；其中，在第一种...
该专利属于安徽奥飞声学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽奥飞声学科技有限公司授权不得商用。

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