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描述了一种用于将边缘支撑框架(ESF)固定到沉积设备的工作台框架的磁固定件。所述磁固定件包括：第一构件，所述第一构件具有磁体；和第二构件，所述第二构件具有磁元件。所述第一构件和所述第二构件各自耦接到所述工作台框架和所述ESF中的至少一者，其...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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