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本实用新型提供一种调节装置和晶圆置换机，调节装置包括：至少两个调节组件；每个调节组件包括至少两个吸附单元、一限位单元、一调节单元和一可伸缩单元；其中，吸附单元与调节单元连接；所有调节组件的所有吸附单元的吸附端位于同一平面上，且所述吸附单元的...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

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