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本实用新型属于晶圆减薄技术领域，公开了一种减薄机用清洗机构，固定板，固定板上活动设置有移动板；清洗装置与抛光装置，清洗装置与抛光装置上均包括安装框架并通过安装框架活动设置在移动板上；为了保证对晶圆以及台面的清洗效果，清洗装置与抛光装置通过移...
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