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公开了一种传送装置，其设计用于同时传送多个有效负载、特别是晶片，其中，每个有效负载分配有一个传输体(移动器)，所述传输体能够在定子的表面上以浮动方式移动和定位。移动和定位关于所有六个自由度发生。在此传输体和配属的有效负载容纳在密封的传输空间...
该专利属于罗伯特所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特授权不得商用。

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