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本发明公开了一种增强铪基铁电薄膜极化的热再唤醒操作方法及系统，属于微纳米电子技术领域，包括：S1、对铪基铁电薄膜进行加热升温；S2、向铪基铁电薄膜施加具有若干个周期的脉冲电压；S3、将铪基铁电薄膜降温至初始温度。本发明通过热再唤醒的操作，产...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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