温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种磁控溅射镀膜装置，包括底，所述圆盘型支撑底座的顶端呈环形阵列开设有多个固定槽，且多个固定槽内均固定安装有翻转传动组件，所述圆盘型支撑底座顶端的中心固定安装有伺服电机，且伺服电机的电机轴穿过圆盘型支撑底座的一端固定连接有X型支...
该专利属于大连榕树光学有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连榕树光学有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。