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一种多晶磷化铟材料的纯化方法技术
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文档序号:38006348
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本发明公开了一种多晶磷化铟材料的纯化方法,一种多晶磷化铟材料的纯化方法,包括以下步骤:S1:固定多晶磷化铟棒。S2:吹扫并封焊。利用高纯氩气对氮化硼管进行吹扫操作,将氮化硼管中的空气完全以惰性气体代替;S3:缓慢区融。在氮化硼管的外部套上区...
该专利属于陕西铟杰半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过陕西铟杰半导体有限公司授权不得商用。
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