下载数据处理方法、装置、设备及存储介质的技术资料

文档序号:38006326

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本发明公开一种数据处理方法、装置、设备及存储介质。数据处理方法应用于晶圆转运设备,晶圆转运设备包括机械手臂,机械手臂上集成有旋转转台,方法包括:获取目标姿态信息和包含有晶圆表面的待识别图像,目标姿态信息为晶圆放置于目标转运盒的需求姿态的映射...
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