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本发明公开了一种可实现溅射工艺的组合式高精度六维力传感器结构，包括十字梁、双U型梁、基座、顶盖、底盖和应变片，将24个应变片溅射在主梁上，形成6组惠斯通电桥，十字梁上3组，双U型梁上3组；所述六维力传感器的测量原理在于：某一维度的输入力/力...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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