下载高压热处理装置用的气体管理组件的技术资料

文档序号:37994379

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本发明涉及一种高压热处理装置用的气体管理组件,其包括:壳体,设置有内部空间;供气模块,设置于上述内部空间,用于高压热处理装置的内部腔室和外部腔室供应气体;排气模块,设置于上述内部空间,在上述内部腔室对热处理对象物进行排气;检测模块,在上述内...
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