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本申请涉及PECVD设备废气治理的领域，尤其是涉及一种光伏PECVD设备废气回收处理系统，包括供反应废气进入的吸收管、位于吸收管中且仅能吸收氨气的吸收部、连通于吸收管且能将反应废气降低至
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该专利属于浙江合特光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江合特光电有限公司授权不得商用。

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