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本发明涉及半导体设备的技术领域，公开了一种用于半导体晶圆传输系统的晶圆暂存单元结构，包括腔体，呈方形结构，在其内部承载自上而下、均匀间隔设置的多个晶圆；整流机构和百叶窗机构，均设置在腔体内部，分列在晶圆相对的两侧，所述整流机构用于对进入腔体...
该专利属于上海广川科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海广川科技有限公司授权不得商用。

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