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本实用新型提供一种金属管密封真空旋转导入装置,包括外侧管路(10)、外侧磁流体转子(20)、磁流体固定法兰(30)、内侧磁流体转子(40)、内侧管路(50)以及真空腔体(60);真空腔体(60)的外侧壁上形成有连接通孔,磁流体固定法兰(30...该专利属于川北真空科技(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过川北真空科技(北京)有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种金属管密封真空旋转导入装置,包括外侧管路(10)、外侧磁流体转子(20)、磁流体固定法兰(30)、内侧磁流体转子(40)、内侧管路(50)以及真空腔体(60);真空腔体(60)的外侧壁上形成有连接通孔,磁流体固定法兰(30...