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振动位移测量范围扩大组件、振动组件及测振系统技术方案
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文档序号:37893369
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本实用新型提供一种振动位移测量范围扩大组件、振动组件及测振系统,振动位移测量范围扩大组件包括:安装件,用于与产生振动的振动件安装连接;安装件设有安装腔;聚光元件,设于安装腔内,用于对激光干涉仪发射的测量光束进行聚焦;反射元件,靠近安装腔的底...
该专利属于中国计量科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量科学研究院授权不得商用。
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