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本发明提供了一种管式炉工艺加热装置，其能够提高加热效率，缩短加热时间，降低加热功率。该管式炉工艺加热装置包括环形炉体和一或多个主控加热组。该环形炉体沿轴向被划分为位于炉体中间部位的一或多个主控区，其中至少一个主控区沿上下方向被划分为多个主控...
该专利属于浙江求是半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江求是半导体设备有限公司授权不得商用。

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