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本发明公开了一种LDI直写曝光机的能量格测试方法，包括步骤S1、获取基板样本，并进行预处理；步骤S2、将油墨涂覆在经过预处理后的基板上进行烘烤固化，再将基板放置在曝光机吸盘垫预设位置处；步骤S3、基于图形像素预设比例得到能量测试图形，并利用...
该专利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备股份有限公司授权不得商用。

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