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本发明公开了一种净化台、净化台使用方法和半导体设备。该净化台内部沿进舟方向分为热排区、降温区和主动进气区，在热排区顶部设置热排口，在降温区设置排风口和排风风机，通过热排口和排风口排出高温气体、腐蚀性气体等有害气体，形成逐渐排热、分区保护的结...
该专利属于拉普拉斯新能源科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉普拉斯新能源科技股份有限公司授权不得商用。

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