温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

泵(10)具备振动板(11)、流路形成部件(15)、泵室(101)以及薄膜阀(13)。振动板(11)配置有压电元件(12)，通过该压电元件(12)的形变来振动，且在外周配置有空隙(114)。流路形成部件(15)与振动板(11)对置配置，且在...
该专利属于株式会社村田制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社村田制作所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。