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本实用新型公开了一种气相沉积炉的炉盖密封结构包括炉体和炉盖本体，所述炉盖本体位于炉体的上方，所述炉体的外壁固定连接有安装板，且安装板的顶部固定连接有固定杆，所述固定杆的外壁固定连接有发条弹簧，且发条弹簧的一端固定连接有连接件，所述连接件的一...
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