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本发明公开了一种用于物理气相沉积设备的靶材供料装置，包括真空沉积腔体（1）、水冷坩埚（3）、一个以上装有靶材（2）的靶材筒（4）、靶材托板（6）、靶材顶升杆（7）、靶材废料清理装置、靶材填装装置。靶材筒（4）依次排列并可沿靶材托板（6）做受...
该专利属于无锡乘风航空工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡乘风航空工程技术有限公司授权不得商用。

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