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一种晶棒定装治具制造技术
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文档序号:37791985
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本实用新型公开了一种晶棒定装治具,涉及半导体技术领域,该晶棒定装治具包括:载料台本体,设于载料台本体上的料板;载料台本体上设有一卡接槽,载料台本体与卡接槽内活动连接一活动板,载料台本体于远离卡接槽的一端设有限位条;料板用于承载粘接晶棒,料板...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。
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