温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于MOCVD与MBE互联设备真空高温多轴传样的机械手及真空互联设备。所述机械手包括：能够夹取固定、释放样品片的夹爪，所述夹爪包括沿第一方向相对设置的两个夹持臂，两个夹持臂中的至少一者能够沿第一方向活动；每一所述夹持臂具...
该专利属于埃特曼（苏州）半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃特曼（苏州）半导体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。