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本申请实施例公开一种套刻误差补偿方法及系统、存储介质。套刻误差补偿方法，包括提供N个晶圆组，N个晶圆组中的每一晶圆组包括M个晶圆，M个晶圆中的每个晶圆包括当层和前层；其中，N和M均为大于等于2的正整数；根据当层和前层的器件结构确定每个晶圆的...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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