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BVA晶振的封装工艺制造技术
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文档序号:37763474
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本发明提供一种BVA晶振的封装工艺,包括步骤:制备上盖板和下盖板:采用刻蚀工艺在石英晶片的工作面的边缘刻蚀出小凹槽;采用激光打孔工艺在小凹槽中制作通孔;采用电镀或化学镀工艺在小凹槽及通孔中制备导电层;在石英晶片的工作面制备出大凹槽;对石英晶...
该专利属于北京晨晶电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京晨晶电子有限公司授权不得商用。
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