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本实用新型公开了一种硅片清洗装置，包括箱体，所述箱体的底部表面两侧设有支腿，且支腿之间设有支撑板，所述支撑板的顶部表面两侧安装有电动推杆，且电动推杆的输出端贯穿箱体底部表面两侧上的密封套固定连接有清洗篮，所述箱体的内壁两侧安装有超声波换能器...
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