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本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体为一种晶圆衬底外延全自动检测设备，包括机架，所述机架的顶部设置有密封机罩，所述机架的上表面通过支撑柱固定有机械臂，所述机械臂的一侧设置有自动检测机构，晶圆料框和校准框均设置于所述机架上，所述机械臂的另一侧...
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