下载太阳能电池的多激光光斑加工方法及加工装置的技术资料

文档序号:37718565

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本发明提供了一种太阳能电池的多激光光斑加工方法及加工装置。太阳能电池的多激光光斑加工方法包括:激光发生系统发射的激光光束经分光和聚焦后在待加工基板上形成多个沿直线排列的激光光斑,多个激光光斑的能量全部相同、部分相同或全部不同;激光光斑按照设...
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