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一种金属掩膜版的蚀刻方法及金属掩膜版技术
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文档序号:37710991
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本发明公开一种金属掩膜版的蚀刻方法及金属掩膜版,包括S500:在初步蚀刻完的金属掩膜版基材的第一主表面上完整涂覆抗蚀剂并填满第一凹陷区,在第二主表面上完整涂覆抗蚀剂并填满第二凹陷区;S600:第一主表面全面固化抗蚀剂,第二主表面制作出第三镂...
该专利属于浙江众凌科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江众凌科技有限公司授权不得商用。
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