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本实用新型属于芯片制造技术领域，公开了一种吸附装置，其用于芯片的吸附转运，具体包括：吸嘴主体和导向件。吸嘴主体开设有用于与喷气嘴连接的第一气孔、与第一气孔连通的第二气孔以及与第二气孔连通的吸附缺口，吸附缺口的侧壁设有导向面；导向件设置在吸附...
该专利属于苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司授权不得商用。

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