下载温度调节装置、蒸发源及用于量子点发光器件的蒸镀装置的技术资料

文档序号:37681672

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本申请提供一种温度调节装置、蒸发源及用于量子点发光器件的蒸镀装置。通过在壳体的表面开设用于放置蒸发组件的容置槽,且壳体的内腔环绕蒸发组件布置,使得当蒸发组件放置在容置槽中时,蒸发组件可以快速与壳体的内腔中的介质进行热交换。另在壳体上开设抽气...
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