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一种自动测量方法，包括：获取待测量图像，所述待测量图像内具有待测量图形；对所述待测量图形进行第一轮廓提取，获取第一轮廓图形；提供目标版图，所述目标版图内具有若干目标图形；根据待测量图像的坐标，将所述第一轮廓图形与目标版图进行第一对准，所述目...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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