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本发明公开了基板处理装置及基板处理装置的工艺管理方法，涉及掌握设置在基板处理设备的多个工艺腔室的每一个的工艺现况，将处理预定基板投入到各个工艺腔室，并保管在设于传输腔室的储存室中，根据相应工艺腔室的工艺进行情况，将保管在所述储存室中的基板移...
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