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本实用新型公开了一种薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置，薄膜溅射设备包括载片台，载片台的腔体的顶部密封有透明玻璃，载片台的腔体内装载有晶圆，装置包括检测相机和控制箱，检测相机通过支架安装在透明玻璃的正上方，控制箱包括控制箱体，控制箱体的正面...
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