下载光掩膜版及其制作方法的技术资料

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一种光掩膜版及其制作方法,所述光掩膜版,包括:透明基板,所述透明基板包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面;位于所述透明基板的第一表面上的若干分立的遮蔽图形;当相邻的两所述遮蔽图形之间的间距存在异常时,在间距存在异常的两相邻的所述遮蔽图...
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