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本实用新型提供一种清洗系统，其包括：输送基板的输送装置；配置在该输送装置的下方的清洗单元；控制输送装置、清洗单元的控制装置。输送装置包括沿着输送方向隔开规定间隔地配置有多排的辊。清洗单元包括：在上端具有矩形的开口部的壳体；配置在该壳体的内部...
该专利属于株式会社海上所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社海上授权不得商用。

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