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本公开内容提供了一种多重基板处置系统，该多重基板处置系统具有对准设备，该对准设备能够将一组基板中的每个基板定位成预定取向以用于传送。缓冲腔室被配置为接收并调节设置在基板载体上的该组基板。第一传送组件被配置为将该组基板传送至缓冲腔室及从缓冲腔...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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