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本申请提供了一种化学气相沉积炉进气分布装置，属于化学气相沉积炉技术领域，以解决现有的化学气相沉积炉进气分布装置不具备气压过载保护功能，而且不能够根据需要对不同的气态原材料进行分批导入或者混合后同时送入的问题，包括第一连接罩，所述第一连接罩的...
该专利属于四川巴顿博越智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川巴顿博越智能装备有限公司授权不得商用。

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