下载接触结构的形成方法、半导体结构及存储器的技术资料

文档序号:37590877

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本申请公开了一种接触结构的形成方法、半导体结构及存储器,所述方法包括:提供基底,在所述基底上形成牺牲层;对所述牺牲层进行图形化处理,在所述牺牲层中形成暴露所述基底的第一间隙;在所述第一间隙中沉积介质层;去除所述牺牲层,在所述介质层之间形成第...
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