专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
长鑫存储技术有限公司
>
接触结构的形成方法、半导体结构及存储器技术
>技术资料下载
下载接触结构的形成方法、半导体结构及存储器的技术资料
文档序号:37590877
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请公开了一种接触结构的形成方法、半导体结构及存储器,所述方法包括:提供基底,在所述基底上形成牺牲层;对所述牺牲层进行图形化处理,在所述牺牲层中形成暴露所述基底的第一间隙;在所述第一间隙中沉积介质层;去除所述牺牲层,在所述介质层之间形成第...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。