下载一种晶圆研磨用定位环的技术资料

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本实用新型公开一种晶圆研磨用定位环,涉及晶圆研磨领域。该晶圆研磨用定位环包括加工平台和定位环固定基座,所述加工平台的底部固定连接有锁紧固定座,所述锁紧固定座的两侧设有锁紧杆。该晶圆研磨用定位环在进行使用时,方便将定位环固定基座安装在加工平台...
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