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本发明涉及一种使用辉光放电等离子体处理样品的方法，所述方法包括一个或多个处理步骤，其中所述用于处理的样品在设有温度控制系统的处理容器中进行等离子体处理，其中，在所述一个或多个处理步骤期间，所述处理容器围绕轴线旋转以搅动所述样品，所述温度控制...
该专利属于黑达乐格瑞菲工业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过黑达乐格瑞菲工业有限公司授权不得商用。

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