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探针高度测量系统及其方法技术方案
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文档序号:3758157
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本发明涉及一种探针高度测量系统,用以测量一探针治具上探针的高度,该探针高度测量系统包括有一测量单元以及一电连结于该测量单元的信号处理单元;该测量单元可供导电且具有一趋向该探针治具位移的测量行程,该信号处理单元亦电连结于该探针治具上各探针,而...
该专利属于尚富煜科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过尚富煜科技股份有限公司授权不得商用。
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