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本发明提供了一种薄膜压力传感器及其制备方法，所述薄膜压力传感器的压力敏感层包括叠层设置的第一敏感薄膜层和第二敏感薄膜层；其中，所述第一敏感薄膜层的材料为Ni
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该专利属于西安交通大学苏州研究院所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学苏州研究院授权不得商用。

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